Centrat en la indústria del gas especial

Els gasos electrònics inclouen gasos electrònics especials i gasos electrònics a granel.Són materials indispensables i clau en el procés de fabricació de circuits integrats, panells de visualització, il·luminació de semiconductors, fotovoltaica i altres indústries.Els gasos electrònics especials són materials de suport necessaris per a la fabricació de circuits integrats.S'utilitzen àmpliament en fotolitografia, gravat, formació de pel·lícules, neteja, dopatge, deposició i altres enllaços de procés.Tenen alts requisits de puresa, estabilitat, envasos d'envasos, etc., coneguts com a "aliments" i "sang" de la indústria dels semiconductors.La fabricació de circuits integrats implica milers de processos, que són extremadament complexos i requereixen l'ús de centenars de gasos especialitzats electrònics.En la fabricació de circuits integrats, els gasos electrònics es poden dividir en gasos de dopatge, gasos d'implantació d'ions, gasos de neteja, gasos de gravat i gasos de fotolitografia segons diferents processos;Els gasos electrònics s'utilitzen àmpliament i tenen alts requisits tècnics.Les fonts i els seus sistemes de subministrament tenen requisits exigents.La puresa del gas és el paràmetre bàsic dels productes especials de gas, que requereix ultrapur i ultraclean.Ultrapure requereix que la puresa del gas arribi a 4,5 N, 5 N o fins i tot 6 N o 7 N.Cada vegada que la puresa augmenta en un N i cada vegada que la concentració de partícules i impureses metàl·liques disminueix en un ordre de magnitud, la puresa del gas augmentarà en un ordre de magnitud.Aportant millores significatives en la complexitat i dificultat del procés.Per al gas mixt, la precisió de la proporció és el paràmetre bàsic.A mesura que augmenten els components del producte i augmenta la precisió de la preparació, els proveïdors de gas sovint han de realitzar operacions precises en components de gas amb una varietat de concentracions de nivell de ppm o fins i tot ppb.